【時報記者沈培華台北報導】台積電(2330)持續優化製程能源使用效率。民國109年,領先業界將「低耗能管路加熱系統」導入先進製程,透過高效熱絕緣體減少熱散失,成功的使機台加熱管減少約25%能耗。目前已導入晶圓十五廠第7期廠區,預計將於民國114年進一步導入台灣全數12吋晶圓廠區及晶圓十八B廠的3奈米與2奈米製程,每年預計將節省8000萬度電。

供應晶圓生產機台的氣體管路,以往為避免管線內部形成結晶、造成堵塞,必須在機台運作期間,對管路外部的加熱設備不斷供電以維持管路表面高溫,確保管線通暢。傳統套件僅著重於管線的加熱功能,忽略表面材質的保溫表現,導致熱能易失而造成電力浪費。 由台積公司節能減碳委員會引領的節能團隊,攜手供應商利用「降低熱損失」的概念,運用以往主要應用於建築物隔熱的氣凝膠材質,取代玻璃纖維做為供氣管路外層。台積公司成功領先業界開發第一套「低耗能管路加熱系統」,民國109年3月於晶圓十五廠第7期優先試行,有效降低管路表面溫度、減少25%能耗。 低耗能管路加熱系統除通過台積公司廠務處與晶圓十五A廠的品質與節能驗證,亦已獲得SGS第三方驗證機構針對耐熱溫度、延展性等安全認證。此系統已由廠務處新廠設計部列為新建廠區的標準設施,將於民國110年導入晶圓十八B廠3奈米及2奈米製程;既有的國內十二吋晶圓廠區則預計於民國114年前完成系統更新,屆時每年將額外減省8,000萬度電,持續追求機台節能最大化。